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J-GLOBAL ID:200903081196374537

レンズ系光軸調整装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐野 静夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993050702
Publication number (International publication number):1994265766
Application date: Mar. 11, 1993
Publication date: Sep. 22, 1994
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 高速に点像の位置を検出し、レンズ系の微動調整を自動的に行って、調整後のレンズ系の位置をそのまま維持し接着固定できるようにする。【構成】 対象レンズ系Tは、レンズ系10、玉枠9、本体取付部11、調整対象のレンズ系8、調整治具7から構成され、顕微鏡レンズ12は、粗調心二軸22によって動かされる。画像処理部14は、CCDカメラ13より得るビデオ信号S1から、各画素の2値化された照度の情報を持つ信号S2を生成し演算処理部15に与える。演算処理部15は微調心二軸21、粗調心二軸22、フォーカス軸23に対してフィードバックし光軸調整を行う。紫外線照射ユニット6は調心が完了すると、演算処理部15の指示で対象レンズ系Tの真上に移動して紫外線硬化型の接着材に対し紫外線を照射する。
Claim (excerpt):
第1、第2レンズ系の光軸が鉛直方向となる配置で前記第1レンズ系を固定するとともに前記第2レンズ系を微動させて前記第1、第2レンズ系の光軸を一致させるレンズ系光軸調整装置において、前記第1、第2レンズ系に中心光線及び該中心光線に平行な3本以上の輪帯光線を照射する手段と、前記第1、第2レンズ系を通過した前記中心光線及び輪帯光線を受光して、該中心光線及び輪帯光線によりそれぞれ形成された像に対応する信号を生成するとともに前記信号に基づいて各像の照度を求める手段と、前記照度の分布から輪帯光線の像の重心座標と中心光線の像の中心座標を求めて、その差から得られる軸上コマ量に応じて微調心補正量を求める手段と、前記微調心補正量に基づいて前記第2レンズを微動させる手段と、を具備することを特徴とするレンズ系光軸調整装置。
IPC (3):
G02B 7/02 ,  G02B 7/00 ,  G11B 7/09

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