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J-GLOBAL ID：200903081200393525

半田ボールマウント装置

Inventor： 新妻 和生
Applicant, Patent owner： 澁谷工業株式会社
Agent (1)： 仁科 勝史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998103686
Publication number (International publication number)：1999289026
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】半田ボールをワークに搭載する際の真空破壊時に吸着ヘッドへのリメインボールの発生を防止すること。【解決手段】本発明は以下の手段を採用した。第1に、半田ボールを吸着してワークに搭載する吸着ヘッドに、半田ボールを吸着する際に吸着ヘッド内に負圧を発生させる真空吸引装置と、半田ボールをワークに搭載する際に吸着ヘッド内に正圧を発生させる加圧装置とを、フレキシブルチューブを用いて接続した半田ボールマウント装置である。第2に、吸着ヘッドに大気に接続する切替手段を設ける。第3に、半田ボールをワークに搭載する際に吸着ヘッド内を上記加圧装置に接続するとともに上記切替手段により大気と接続する。

Claim (excerpt)：

半田ボールを吸着してワークに搭載する吸着ヘッドに半田ボールを吸着する際に吸着ヘッド内に負圧を発生させる真空吸引装置と半田ボールをワークに搭載する際に吸着ヘッド内に正圧を発生させる加圧装置とをフレキシブルチューブを用いて接続した半田ボールマウント装置において、吸着ヘッドに大気に接続する切替手段を設け、半田ボールをワークに搭載する際に吸着ヘッド内を上記加圧装置に接続するとともに上記切替手段により大気と接続することを特徴とする半田ボールマウント装置。

IPC (2)：

H01L 23/12 ,  H01L 21/60

FI (4)：

H01L 23/12 L ,  H01L 21/92 603 B ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z