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J-GLOBAL ID：200903081214173978

異物の自動探索装置を備えた走査電子顕微鏡

Inventor： 多持 隆一郎 ,  小林 由美
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994290908
Publication number (International publication number)：1996148111
Application date： Nov. 25, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【構成】光学式ウェハ検査装置19からの異物情報を記憶したフロッピーディスク18により、CPU15でSEMステージ9,走査電子ビーム5を制御しながら、試料から発生した反射電子10の組成コントラストを検出する。検出された組成コントラストはデジタル変換器 14でデジタル信号に変換され、ベアウェハ17と異物20のコントラストの差をモニタし、SEMステージ9を移動させて異物20の探索を自動的に行う。また、X線分析した異物のスペクトルを、予め登録している異物の情報と照合しながら、異物20の組成および発生源を同定する。【効果】走査電子顕微鏡での異物分析の作業効率が改善され、半導体プロセスにおける歩留まりが向上する。

Claim (excerpt)：

光学式ウェハ検査装置からのウェハ上の異物情報を得て、走査電子顕微鏡のステージを移動させて、異物の探索を行うウェハ異物解析装置において、電子線照射によりウェハの表面から発生する反射電子による異物の組成コントラストを位置決め信号として用い、自動的に異物を検出可能なことを特徴とするウェハ異物解析装置。

IPC (4)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28