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J-GLOBAL ID：200903081229309736

基板収納ボックス

Inventor： 大木 信昭 ,  吉田 進 ,  二村 孝 ,  森田 勝巳
Applicant, Patent owner： 株式会社明電舎 ,  明電エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000160731
Publication number (International publication number)：2001338973
Application date： May. 30, 2000
Publication date： Dec. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 大型且つ薄型の基板を確実に搬送することができ、パーティクル等による基板の汚染を防止することのできる基板収納ボックスを提供すること。【解決手段】 本発明の基板収納ボックス20は、下部部材50と、この下部部材と共働して密閉空間80を形成する上部部材72と、密閉空間内で基板14を支持する支持面56,70と、密閉空間を形成すべく上部部材と下部部材とを分離可能に固定する固定手段88と、前記支持面上で支持された基板の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段86とを備える。このような構成では、密閉空間内で基板が支持されるので、基板が外部のパーティクル等で汚染されることはない。また、基板支持面上で支持された基板は位置ずれが防止されるので、安定、確実な搬送が可能となる。

Claim (excerpt)：

第1部材と、前記第1部材と共働して密閉空間を形成する第2部材と、前記密閉空間内で基板を支持するための支持面と、前記密閉空間を形成すべく前記第1部材と前記第2部材とを分離可能に固定する固定手段と、前記支持面上で支持された基板の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段とを備える基板収納ボックス。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 U ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 L

F-Term (6)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA12 ,  5F031EA09 ,  5F031EA14 ,  5F031PA26