遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998327052
Publication number (International publication number)：2000147775
Application date： Nov. 17, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】標準現像液適性が改良され、且つ形成されるレジストパターンの粗密依存性が良好であって、しかも短波長光源に対して感度が優れた遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (イ)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、ならびに(ロ)脂環式炭化水素構造を含む基で保護された特定のアルカリ可溶性基を有する繰り返し単位及びカルボキシル基を含む特定の繰り返し単位を含有し、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂を含有する遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

(イ)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、ならびに(ロ)下記一般式(pI)〜(pVI)で表される脂環式炭化水素構造を含む基のうち少なくとも1つで保護されたアルカリ可溶性基を有する繰り返し単位及び下記一般式(qI)で表される繰り返し単位を含み、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂、を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】一般式(pI)〜(pVI)中;R11は、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基又はsec-ブチル基を表し、Zは、炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成するのに必要な原子団を表す。R12〜R16は、各々独立に、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R12〜R14のうち少なくとも1つ、もしくはR15、R16のいずれかは脂環式炭化水素基を表す。R17〜R21は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R17〜R21のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。また、R19、R21のいずれかは炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表す。R22〜R25は、各々独立に、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R22〜R25のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。【化2】一般式(qI)中;R1〜R4は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子又は1〜4個の炭素原子を有する直鎖もしくは分岐のアルキル基を表す。ただし、R1〜R4の少なくとも一つは、-COO-(R)n-A-(R)m-COOHで表される基である。ここで、Rは、単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、及びエステル基からなる群から選択される1種あるいは2種以上の基の組み合わせを表し、Aは脂環式炭化水素基を表し、m、nは、各々独立に、0又は1である。

IPC (6)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , C08K 5/00 , C08L 33/04 , H01L 21/027 , C08F 8/12

FI (6)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , C08K 5/00 , C08L 33/04 , C08F 8/12 , H01L 21/30 502 R

F-Term (50)：

2H025AA01 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025FA17 , 4J002BG051 , 4J002BG071 , 4J002EB106 , 4J002EU186 , 4J002EU206 , 4J002EU226 , 4J002EV216 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002GP03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA02P , 4J100BA03Q , 4J100BA12P , 4J100BA15P , 4J100BA16Q , 4J100BC02P , 4J100BC04P , 4J100BC07P , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC12P , 4J100BC12Q , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100DA39 , 4J100DA61 , 4J100HA08 , 4J100HC05 , 4J100HC63 , 4J100HC64 , 4J100HC69 , 4J100HC71 , 4J100JA38

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