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J-GLOBAL ID：200903081280039255

形状観察装置

Inventor：
池野 昌彦

About 池野 昌彦


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994302152
Publication number (International publication number)：1996162059
Application date： Dec. 06, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 試料の欠陥表面及び内部の両者の情報を含む欠陥形状の画像を得ることができる形状観察装置を得る。【構成】 試料1上の欠陥を観察する電子顕微鏡3及び光学顕微鏡5と、電子顕微鏡及び光学顕微鏡による画像をそれぞれ記憶する画像メモリ7及び8と、その画像メモリ8に蓄えられた光学顕微鏡5による画像を加工する画像処理装置9と、電子顕微鏡3及び光学顕微鏡5による画像の拡大倍率が等しくなるように倍率調整すると共に両者の画像の位置関係が一致するように位置調整して同一表示画面上に重ね合わせる画像重ね合わせ装置10とを備えた。
Claim (excerpt)：
試料上の欠陥を観察する電子顕微鏡及び光学顕微鏡と、この電子顕微鏡及び光学顕微鏡による画像の拡大倍率が等しくなるように倍率調整すると共に両者の画像の位置関係が一致するように位置調整して同一表示画面上に重ね合わせる画像重ね合わせ装置とを備えた形状観察装置。
IPC (3)：
H01J 37/22 502 ,  G06T 7/00 ,  G06T 5/00
FI (2)：
G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/68 310 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 特開昭58-042151
  • 形態観察装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-130966   Applicant：株式会社トプコン
  • 特開昭61-096644
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Cited by examiner (2)
  • 特開昭58-042151
  • 形態観察装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-130966   Applicant：株式会社トプコン

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