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J-GLOBAL ID：200903081283310472

電流分布および光学モ-ドの分離制御可能なVCSEL

Inventor： ドナルド・イ-・アックレイ ,  チャン・ロング・シ-
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993207008
Publication number (International publication number)：1994112587
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は電流分布および光学モ-ドを分離制御可能な新規で改良されたVCSELを提供することを目的とする。【構成】 上部ミラ-・スタック12,18上に配置される材料と共にメサ型領域から形成するためエッチングされる上部ミラ-・スタックを有する基板上に形成されるVCSEL15であって、その上部ミラ-・スタックはレ-ザ内において電流分布を制御するため電気的コンタクト・ウィンドウを限定する光学的に透明な電導性材料を含み、所定のミラ-反射率特性を与えるように選択される光学的厚さと共にメサ型領域の表面上に配置される材料であって、メサのエッジには依存しない光学モ-ドを制御する材料を含み、その結果電流と光学モ-ドとを別々に制御することが可能になる。

Claim (excerpt)：

光学モ-ドを制御する縦型空洞表面放出レ-ザを形成する方法であって、基板(30)を提供する段階;前記基板(30)上にミラ-の第1パラレル・スタック(32)を形成する段階;前記第1パラレル・ミラ-・スタック(32)上にアクティブおよびスペ-サ層(35)を形成する段階;前記アクティブおよびスペ-サ層(35)上に第2パラレル・ミラ-・スタック(38)を形成する段階;および前記レ-ザの光学モ-ドを制御するため所定の反射率特性を与える光学的厚さを有する材料(44,46)を前記第2パラレル・ミラ-・スタック(38)上に堆積する段階;から構成されることを特徴とする縦型空洞表面放出レ-ザを形成する方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-302085
  
• 面発光レーザ装置とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-083842   Applicant：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
• 特許第5115441号