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J-GLOBAL ID：200903081286663180
表面欠陥検査方法およびその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小野寺 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992271708
Publication number (International publication number)：1994123707
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：
【要約】【目的】 円筒体の極く緩やかな凹凸等の表面欠陥を自動的に検査する。【構成】 円筒体1の表面2にその軸心方向と直交する端縁を有する投写光像6を形成し、前記形成された投写光像6の前記円筒体1の軸心方向境界部分8における変化を検出する。【効果】 円筒体の曲率の傾きと同程度の傾きの凹凸でも投写光像の境界部分の反射光を軸選と直交した方向から受光することで検出できる。
Claim (excerpt)：
円筒体の表面にその軸心方向と直交する端縁を有する投写光像を形成し、前記形成された投写光像の前記円筒体の軸心方向境界部分における変化を検出することにより、前記円筒体の表面欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (2)：
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