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J-GLOBAL ID:200903081316465698

感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999126506
Publication number (International publication number):2000321767
Application date: May. 07, 1999
Publication date: Nov. 24, 2000
Summary:
【要約】【課題】 感度、解像力、密着性、耐めっき性、レジスト剥離性、感光性樹脂組成物の安定性に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物において、エチレン性不飽和化合物(B)として、特定式で示される光重合モノマー(B1)をエチレン性不飽和化合物(B)全体に対して3〜50重量%含有し、更に光重合開始剤(C)として、N-アリール-α-アミノ酸系化合物(C1)を含有してなる感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt):
カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物において、エチレン性不飽和化合物(B)として、下記一般式(1)で示される光重合モノマー(B1)をエチレン性不飽和化合物(B)全体に対して3〜50重量%含有し、更に光重合開始剤(C)として、N-アリール-α-アミノ酸系化合物(C1)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、R1は水素又はメチル基、R2は炭素数1〜4のアルキル基、R3は炭素数4〜14のアルキル基、mは3〜20の整数、nは0〜9の整数、lは1〜3の整数である。
IPC (6):
G03F 7/031 ,  C08F 2/50 ,  C08F 20/28 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 501
FI (6):
G03F 7/031 ,  C08F 2/50 ,  C08F 20/28 ,  C08F290/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 501
F-Term (94):
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC65 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA19 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025EA08 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PA86 ,  4J011PA88 ,  4J011PA95 ,  4J011PA96 ,  4J011QA03 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA21 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA34 ,  4J011QA37 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011UA01 ,  4J027AA02 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AJ02 ,  4J027BA02 ,  4J027BA04 ,  4J027BA06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA09 ,  4J027BA10 ,  4J027BA11 ,  4J027CA03 ,  4J027CA24 ,  4J027CA25 ,  4J027CA31 ,  4J027CB10 ,  4J027CC04 ,  4J027CD10 ,  4J100AB02R ,  4J100AB03R ,  4J100AB04R ,  4J100AE02R ,  4J100AG04R ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK31Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03P ,  4J100AL04P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL09P ,  4J100AL10P ,  4J100AL10R ,  4J100AL36Q ,  4J100AM02R ,  4J100AM21R ,  4J100BA14R ,  4J100BA31P ,  4J100BA31R ,  4J100BB17R ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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