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J-GLOBAL ID:200903081337258820

感光性樹脂組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 藤本 博光 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992190155
Publication number (International publication number):1994011830
Application date: Jun. 25, 1992
Publication date: Jan. 21, 1994
Summary:
【要約】【目的】 感光性樹脂組成物として感光基の入手と導入容易、保存、安定性、耐熱安定性、実用物性および感度良好、現像時のクラックのないものを提供する。【構成】 ポリイミド100、(メタ)アクリル基含有イソシアヌレート10〜100、ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート10〜100および光重合開始剤0.5〜20各重量部からなる感光性樹脂組成物。【効果】 製造が容易で、厚膜フィルムに対しても十分な実用感度を保有し、膜厚の経時変動、感度変化が少ない感光性樹脂組成物が提供される。
Claim (excerpt):
(1)ポリイミド100重量部に対して、(2)(メタ)アクリル基含有イソシアヌレート10〜100重量部、(3)ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート10〜100重量部、及び(4)光重合開始剤0.5〜20重量部を必須成分として含有せしめた感光性樹脂組成物。
IPC (7):
G03F 7/037 ,  C08F 2/50 MDK ,  C08F220/20 MMV ,  C08F220/38 MMW ,  C08F299/02 MRS ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 501
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平2-000639
  • 特開平2-000870

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