蛍光走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994125216
Publication number (International publication number)：1995333234
Application date： Jun. 07, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】蛍光像を高いコントラストで得られる蛍光走査型顕微鏡を提供する。【構成】走査系として、円筒型圧電アクチュエーター56、レンズ枠58、透明な試料台60を備えている。蛍光顕微鏡系として、照明用光源12、コレクターレンズ14、シャッター16、励起用光源18、コレクターレンズ20、シャッター22、ハーフミラー24、励起フィルター28、補助励起フィルター26、ハーフミラー30とダイクロイックミラー32、コンデンサーレンズ34、励起光吸収フィルター36、ミラー38、赤外吸収フィルター40、接眼レンズ42、CCDカメラ44を備えている。AFM系として、探針66を備えたカンチレバー64、非可視光光源68、二分割光検出器70、差動増幅器72、対物レンズ46、CCDカメラ48を有している。さらに、CCDコントローラ52、CCDカメラ切り替え回路50、テレビモニター54を有している。

Claim (excerpt)：

蛍光顕微鏡と走査型顕微鏡を複合化した蛍光走査型プローブ顕微鏡において、自由端部に探針を備えたカンチレバーで、探針と試料の間に働く相互作用により変位する柔軟なカンチレバーと、カンチレバーの探針変位を光学的に検出する変位検出手段とを備えており、変位検出手段は、非可視光の変位検出ビームを射出する光源を含んでいることを特徴とする蛍光走査型プローブ顕微鏡装置。

IPC (4)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G01N 21/64 , G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平4-233404
走査型近視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-054092 Applicant：セイコー電子工業株式会社

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