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J-GLOBAL ID：200903081343405419

位置ずれの計測方法、及び計測装置

Inventor： 市原 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996023677
Publication number (International publication number)：1996271217
Application date： Sep. 05, 1985
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【課題】 2つの回折格子がピッチ方向に微小な位置ずれを伴って並置されるとき、その相対的な位置ずれ量を高い精度で計測する方法と装置とを得る。【解決手段】 所定の周波数差Δfを有する2つのコヒーレント光束を第1回折格子と第2回折格子の各々に互いに異なる入射角で照射し、第1回折格子と第2回折格子の各々から周波数差Δfで強度変調されて発生する干渉光を光電検出して第1の光電信号と第2の光電信号とを生成し、第1の光電信号の位相情報と前記第2の光電信号の位相情報とを比較することによって第1回折格子と第2回折格子とのピッチ方向に関する相対的な位置ずれ量を演算する。

Claim (excerpt)：

所定の第1方向にピッチを有する第1回折格子と、前記第1方向にピッチを有するとともに前記第1方向と交差した第2方向に前記第1回折格子と離して配置される第2回折格子との各々にコヒーレント光束を照射し、前記第1、第2回折格子の各々から生じる回折光を光電検出することによって前記第1回折格子と第2回折格子との前記第1方向に関する相対位置ずれを計測する方法において、単一のレーザ光源からのレーザ光によって生成されて所定の周波数差Δfを有する2つのコヒーレント光束を前記第1回折格子上に互いに異なる入射角で照射すると同時に、前記2つのコヒーレント光束を前記第2回折格子上に互いに異なる入射角で照射する段階と;前記2つのコヒーレント光束の照射によって前記第1回折格子から発生する複数の回折光同志の干渉光を光電検出して前記周波数差Δfに対応した周波数で強度変化する第1の光電信号を生成するとともに、前記第2回折格子から発生する複数の回折光同志の干渉光を光電検出して前記周波数差Δfに対応した周波数で強度変化する第2の光電信号を生成する段階と;前記第1の光電信号の位相情報と前記第2の光電信号の位相情報とを比較することによって前記第1回折格子と第2回折格子との前記第1方向に関する相対的な位置ずれ量を演算する段階とを含むことを特徴とする位置ずれ計測方法。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 506 E ,  H01L 21/30 522 D