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J-GLOBAL ID：200903081380987770

キャリアテープ

Inventor： 山崎 英男
Applicant, Patent owner： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
Agent (1)： 宇井 正一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993026626
Publication number (International publication number)：1994252216
Application date： Feb. 16, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 テストパッドのピッチが極めて微小な場合にも、従来の試験装置によってICチップの電気的試験を確実に実施可能なキャリアテープを提供する。【構成】 キャリアテープ10は、誘電体からなるテープ状の基層12と、基層12の表面に層状形成される複数の導体14とを備える。複数の導体14は、矩形環状孔18の外側へ延長されるそれぞれの末端にテストパッド24を備える。テストパッド24には、ICチップの電気的試験を実施する試験装置の接触子が当接される。複数のテストパッド24に重畳する基層12の各部分には、テストパッド24側から徐々に拡径する傾斜内周面25を有して層厚方向へ貫通する案内孔26が形成される。テストパッド24と接触子との相対位置がずれていても、接触子の先端は、案内孔26の傾斜内周面25によって案内され、テストパッド24に確実に接触する。

Claim (excerpt)：

誘電体からなるテープ状の基層と、該基層の表面に層状形成される複数の独立した導体とを具備し、該導体の各々が、ICチップに接続される一端部と、ICチップの電気的試験用外部装置の接触子を当接するための接触部を形成する他端部とを備え、かつ該基層上で該一端部を中心に放射状に配置されてICチップの支持領域を形成するキャリアテープにおいて、前記基層は、前記複数の導体の前記接触部に重畳する部分に、各々層厚方向へ貫通形成される案内孔を具備し、該案内孔の各々が、内周面の少なくとも一部分に、該接触部側から徐々に拡径する傾斜面を備えることを特徴とするキャリアテープ。

IPC (2)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/66