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J-GLOBAL ID:200903081392801222

検査装置及び検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996211188
Publication number (International publication number):1998054858
Application date: Aug. 09, 1996
Publication date: Feb. 24, 1998
Summary:
【要約】【課題】 常に安定した検査を可能とする。【解決手段】 被検査対象MSの特性を特性評価部1で評価するだけでなく、その実測データ、または所定のマスターサンプルを繰り返し測定した結果に基づいて平均値及びばらつき度合を演算し、初期状態に対する変化量の大小を判断することで、検査装置MQ自身の精度の劣化を自己検知部2で検知し、これらの測定結果または自己検知結果を表示手段3で表示する。
Claim (excerpt):
被検査対象の特性検査を行う検査装置であって、前記被検査対象の特性を測定する特性測定手段と、測定された特性に基づいて、前記被検査対象が良品であるか否かを分別する分別手段と、前記特性測定手段での測定値を蓄積記録する記録手段と、前記記録手段に蓄積記録された測定値の平均値及びばらつき度合の少なくとも一方の統計量を演算する統計量演算手段と、前記統計量演算手段で演算された前記統計量と、複数の前記被検査対象を予め実測しまたは単一の前記被検査対象を複数回実測することで得られた基準統計量との差を検出する統計量誤差検出手段と、前記統計量誤差検出手段で検出された統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定された所定の許容範囲を越えているか否かを判断する統計量許容範囲判断手段と、前記統計量許容範囲判断手段によって、統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断した際に、当該検査装置自体が不良状態である旨を表示し、且つ、統計量が前記所定の許容範囲を越えていないと判断した際に、前記分別手段での分別結果を表示する表示手段とを備える検査装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 画像形成装置及び電位検出方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-220771   Applicant:株式会社リコー
  • 特開平2-300627
  • 機械の異常判定方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-075787   Applicant:四国電力株式会社, 四国計測工業株式会社, 株式会社エントロピーソフトウェア研究所
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