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J-GLOBAL ID：200903081401657687

ウオールジエツト型電気化学的検出器およびその製造方法

Inventor： 高橋 雅也 ,  森田 雅夫 ,  田部井 久男
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991177815
Publication number (International publication number)：1993002007
Application date： Jun. 24, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高い検出感度を得る。【構成】 表面にシリコン酸化膜を形成したシリコンウエハ2上に複数の同心円状の薄膜電極からなる作用電極5,6が微小間隔によって分離されて形成される。

Claim (excerpt)：

少なくとも2つの同心円状電極からなることを特徴とするウォールジェット型電気化学的検出器。

IPC (3)：

G01N 27/30 ,  G01N 27/28 321 ,  H01L 21/302