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J-GLOBAL ID：200903081413342053

微小構造装置

Inventor： ミュール,ピエール ,  オワリック,セシル
Applicant, Patent owner： コミッサリア ア レネルジ アトミック
Agent (1)： 太田 恵一
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2008541652
Publication number (International publication number)：2009517640
Application date： Nov. 24, 2006
Publication date： Apr. 30, 2009
Summary：

本発明は基板(101)、中間層(102)、三次元微小構造サイト(104)の表面に係着された化学種(106)を有する、半導体材料製の多数の前記三次元微小構造サイト(104)から成る区域(103)を含む微小構造装置(100)に関するものである。本発明の装置は、バイオチップや電子メモリの製造に有益である。本発明は、電子メモリを形成する方法も同様に目的とするものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板(101)、中間層(102)、化学種(106)を受けるのに適した複数の三次元微小構造サイト(104)から成る区域(103)を含むことを特徴とする、微小構造装置(100)。

IPC (7)：

G01N 27/414 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/115 ,  H01L 27/28 ,  H01L 51/05 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792

FI (9)：

G01N27/30 301V ,  G01N27/30 301N ,  G01N27/30 301L ,  G01N27/30 301W ,  G01N27/30 301Y ,  G01N27/30 301K ,  H01L27/10 434 ,  H01L27/10 449 ,  H01L29/78 371

F-Term (27)：

5F083EP17 ,  5F083EP22 ,  5F083EP48 ,  5F083EP49 ,  5F083EP50 ,  5F083EP63 ,  5F083EP68 ,  5F083FZ07 ,  5F083GA27 ,  5F083JA33 ,  5F083JA60 ,  5F083KA01 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083PR21 ,  5F083PR33 ,  5F083PR36 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA21 ,  5F101BA54 ,  5F101BB02 ,  5F101BB08 ,  5F101BD07 ,  5F101BH02 ,  5F101BH08 ,  5F101BH09 ,  5F101BH16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特許第1376606号