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J-GLOBAL ID:200903081414085445

ブラックマトリックス基板の製造方法及びカラーフィルタ付き基板及び液晶表示素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 泉名 謙治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996298980
Publication number (International publication number):1997230132
Application date: Nov. 11, 1996
Publication date: Sep. 05, 1997
Summary:
【要約】【課題】光学濃度が高く信頼性の高いブラックマトリックスを感光性樹脂を用いて生産性良く製造する。【解決手段】光透過性の基板1上に着色された感光性樹脂を主成分とする塗工層2を形成し、フォトリソグラフィ法でマスク3の側から光線照射4により露光し、現像してパターニングした後、反対側から光線照射5を行い、その後焼成してブラックマトリックスパターンを形成する。
Claim (excerpt):
光透過性の基板上に着色された感光性樹脂を主成分とする塗工層を形成し、フォトリソグラフィ法で露光・現像を行うことにより、所望のブラックマトリックスパターン状以外の部分の塗工層を除去した後、最初に光線を照射した側と反対側から残った塗工層に光線を照射し、その後、塗工層を有する基板を焼成してブラックマトリックスパターンを形成することを特徴とするブラックマトリックス基板の製造方法。
IPC (4):
G02B 5/20 101 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1335 505
FI (4):
G02B 5/20 101 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1335 500 ,  G02F 1/1335 505
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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