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J-GLOBAL ID：200903081435751038
欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993295605
Publication number (International publication number)：1995146249
Application date： Nov. 25, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：
【要約】【目的】 着目画素を囲む複数画素のウインドウ画像によってパターンの形状の種類を判別し、かつパターン形状を代表する少なくとも1つの画素を選択し、設計データから参照多値パターンデータを精度よく、かつ簡易な回路で作成する。【構成】 PROMa101〜109と、PROMb11と、マルチプレクサ12と、遅延装置13と、PROMc14とを有する欠陥検査装置において、3×3個の各画素ごとに設けられるPROMa101〜109からは、0、16、それ以外の値を区別する2ビットデータが出力され、そのデータに応じてPROMb11からは168通りのパターン種別のいずれかが出力される。マルチプレクサ12はPROMb11の出力に応じて黒三角部分の画素位置を検出し、PROMc14はPROMb11で選択されたパターン種別と黒三角部分のデータにより、着目画素の参照パターンデータを8ビットデータとして出力する。
Claim (excerpt)：
設計情報に基づいて被検査物に形成された被検査パターンを撮像して得られる被検査パターンデータと前記設計情報に基づいて作成された参照パターンデータとを比較して前記被検査パターンの欠陥を検出する欠陥検査装置において、前記設計情報に基づいて作成した画素のデータであって、それぞれの画素に含まれるパターンの割合に応じて定められた多値データ群の中から、ウインドウ画像を形成する、着目画素および該着目画素を囲む複数の画素に対応する多値データを順次抽出する多値データ抽出手段と、該多値データ抽出手段により抽出された多値データを所定の複数の閾値により分類し、それぞれの分類を示す識別データを出力するデータ分類手段と、該識別データに基づいて、前記ウインドウ画像内に含まれるパターンの形状の種類を判別する判別手段と、該判別手段による判別結果に基づいて、前記着目画素および該着目画素を囲む複数の画素の中から、前記ウインドウ画像に含まれるパターンの形状を代表する少なくとも1つの画素を選択する選択手段と、前記判別手段によって判別されたパターンの形状の種類と前記選択手段により選択された画素に対応する前記多値データとに基づいて、前記着目画素に対応する多値データを作成し、前記参照パターンデータとして出力する参照パターンデータ作成手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (5)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01L 21/66
, H05K 3/00
