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J-GLOBAL ID：200903081437895819

バルブ及びバルブアレイ

Inventor： デイビッド ケー.ビーゲルセン ,  ウォーレン ビー.ジャクソン ,  パトリック シー.ピー.チェン ,  マーク エイチ.イム ,  アンドリュー エー.ベルリン
Applicant, Patent owner： ゼロックス コーポレイション
Agent (1)： 中島 淳 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997313498
Publication number (International publication number)：1998169826
Application date： Nov. 14, 1997
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 マイクロデバイスバルブ及びセンサを支持し制御するための低コスト且つ信頼性のあるマイクロデバイス構成方法及びシステムを提供する。【解決手段】 マイクロデバイス支持システム10のバルブ27はラミネート51〜56を有し、このラミネートは樹脂で含浸された誘電ベース材料から成り、またこのシステムは誘電ベース材料に対して移動可能であり流体フローを制御する要素を有し、さらにラミネート上にホトリソグラフィーで形成された複数の金属電気リードを有する。

Claim (excerpt)：

バルブであって、少なくとも一つのラミネートを有し、前記ラミネートは樹脂で含浸された誘電ベース材料から成り、前記誘電ベース材料に対して移動可能であり、流体フローを制御する要素を有し、ラミネート上にホトリソグラフィーで形成された複数の金属電気リードを有する、バルブ。

IPC (3)：

F16K 31/06 305 ,  B65G 51/03 ,  B65H 5/22

FI (3)：

F16K 31/06 305 Z ,  B65G 51/03 A ,  B65H 5/22 A