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J-GLOBAL ID：200903081440138115

静電チャック

Inventor： 口町 和一
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995193850
Publication number (International publication number)：1997045757
Application date： Jul. 28, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】セラミック体とベース板をシリコーン接着剤で接合した静電チャックでは、シリコーン接着剤の熱伝導率が比較的低いため、接着厚みのバラツキがあるとウェハ等の被吸着物を均一な温度に保つことが困難であった。【解決手段】内部電極12を埋設し吸着面11aを有するセラミック体11と、ベース板13とをインジウム又はインジウム合金の接着層14で接合して静電チャック10を構成する。

Claim (excerpt)：

内部電極を埋設し吸着面を有するセラミック体と、ベース板とをインジウム又はインジウム合金からなる接着層を介して接合したことを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電チヤツク
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-294696   Applicant：富士電機株式会社
• 特開平3-003249