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J-GLOBAL ID：200903081485863490

赤外線検出素子およびそれを用いた温度測定装置

Inventor： 尾上 順一 ,  佐伯 徳夫 ,  村木 恭子 ,  高山 良一 ,  望月 邦彦 ,  園田 信雄
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996346945
Publication number (International publication number)：1998185696
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 赤外線を利用した温度検出装置において、従来よりも測定速度および測定精度を大幅に向上させること。【解決手段】 赤外線検出素子を2次元アレイ化することにより、測定誤差をなくす。作成方法としては、エッチングホールを利用して下部にマイクロキャビティー6を形成する。

Claim (excerpt)：

下地電極と、前記下地電極上に2次元的に形成された、複数の焦電薄膜素子と、前記複数の焦電薄膜素子のそれぞれの間および周辺部に形成され、前記各々の焦電薄膜素子どうしを絶縁し、かつ保持する絶縁性有機薄膜と、前記各々の焦電薄膜素子から電荷を取り出す複数の取り出し電極を備え、前記下地電極の下方に空隙部を設けたことを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2)：

G01J 5/02 ,  G01J 1/02

FI (2)：

G01J 5/02 Q ,  G01J 1/02 Y