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J-GLOBAL ID：200903081497465260

偏向アクチュエータ、光走査素子、及び受光走査素子

Inventor： 斉藤 利夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ミワエンジニアリング
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000376549
Publication number (International publication number)：2005099063
Application date： Dec. 11, 2000
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：

【課題】大きな偏向角を低周波信号により比較的低電流で駆動可能な、安価で量産可能で長寿命の偏向アクチュエータを提供する。【解決手段】両持ち梁4・4をポリイミド等のシート化可能材料でシート状に構成し、偏向部分の可動部に部品を接着する。上記可動部3および上記両持ち梁4・4がシート化可能材料でシート状に構成されているので、大きな捩れ角が得られ、低周波数化が可能となると同時に低消費電力化につながる。可動部3の平面コイル2への電流は浮遊配線20を介して通電される。それ故、配線の金属疲労による損傷、あるいは疲労断線を確実に回避でき、寿命を長くできる。また、梁の部分の配線をなくした構成でもよい。さらに、偏向部分の部品を接着することにより、大規模な設備が不要となり安価で多様な用途に適用できる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

絶縁物の表面に保護膜で覆われたコイルを形成し、このコイルの形成部分を可動部とし、両持ち梁で軸支され、その両持ち梁の他端を固定部としたシートを構造材とし、その構造材の周囲に磁界発生手段を備えた偏向アクチュエータ。

IPC (4)：

G02B26/10 ,  G01N33/20 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

FI (4)：

G02B26/10 104 ,  G01N33/20 N ,  G02B26/08 E ,  G02B7/18 Z

F-Term (18)：

2G055AA01 ,  2G055BA05 ,  2G055BA11 ,  2G055BA14 ,  2G055FA01 ,  2G055FA06 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H043CA02 ,  2H043CD03 ,  2H043CD04 ,  2H043CE00 ,  2H045AB16 ,  2H045AB72