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J-GLOBAL ID：200903081504357975
光検出または照射用プローブとその製造方法、及びこれらのプローブを備えた走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998173933
Publication number (International publication number)：1999352134
Application date： Jun. 05, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】100nm以下の開口径を持つ微小開口であっても、再現性良く微小開口を形成することができる光検出または照射用プローブとその製造方法を提供すること。【解決手段】遮光性部材1に設けられた微小開口3より透光性薄膜2が露出してなる光検出または照射用プローブであって、前記微小開口より露出する透光性薄膜によって遮光性部材の主面に対して凸状となる突起部5が形成されていることを特徴とするものであり、またプローブの製造方法は、遮光性部材1に設けられた微小開口3より透光性薄膜2を露出させて光検出または照射用プローブを製造する方法であって、前記遮光性部材と前記透光性薄膜を接合形成する工程と、前記遮光性部材の一部を研磨除去することで該透光性薄膜の一部が露出した微小開口を形成する工程と、を少なくとも有する。
Claim (excerpt)：
遮光性部材に設けられた微小開口より透光性薄膜が露出してなる光検出または照射用プローブであって、前記微小開口より露出する透光性薄膜によって遮光性部材の主面に対して凸状となる突起部が形成されていることを特徴とする光検出または照射用プローブ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
