広いX線エネルギー範囲にわたって高い感度を得るためのX線コリメータ光学系を有する波長分散X線スペクトロメータ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外9名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000528984
Publication number (International publication number)：2002501209
Application date： Jan. 25, 1999
Publication date： Jan. 15, 2002
Summary：

【要約】波長分散型分光測定等のためのX線コリメータ(13)は、多毛管X線光学系(42)がネスト配置されたグレージング入射光学系(32)を備えている。多毛管X線光学系は、グレージング入射ミラーの動作を妨げないようにグレージング入射ミラー光学系の中空ボアに取り付けられる。多毛管X線光学系は、グレージング入射ミラー光学系の範囲を高エネルギー範囲まで拡張する。本発明のX線コリメータは、これによりコリメートされたX線を受け取るように配置された回折素子を含む波長分散型X線スペクトロメータに使用される。本発明による波長分散型X線スペクトロメータは、電子顕微鏡のようなエネルギービーム顕微鏡に組合せて使用されて、サンプル試料から放出するX線を分析する。

Claim (excerpt)：

(a)入口孔、出口孔及び中空ボアを有し、入口穴を通過するX線をさえぎると共に、グレージング入射角のX線を、中空ボアの軸に平行に出口孔から投射される実質的にコリメートされたビームへと反射するようにミラー内面が形成されたグレージング入射ミラーコリメート光学系と、 (b)上記グレージング入射ミラーコリメート光学系の中空ボア内に取り付けられそして中空ボアの軸と平行に整列された入力端及び出力端を有する多毛管のX線光学系であって、入力端に受け取られたX線を、中空ボアの軸に平行に出力端から投射されるコリメートされたビームへとコリメートするための多毛管X線光学系と、を備えたことを特徴とするX線コリメータ。

IPC (3)：

G01T 7/00 , G01N 23/225 , G21K 5/04

FI (3)：

G01T 7/00 B , G01N 23/225 , G21K 5/04 M

F-Term (16)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001EA01 , 2G001GA01 , 2G001GA13 , 2G001KA01 , 2G001SA02 , 2G001SA30 , 2G088EE30 , 2G088FF03 , 2G088FF15 , 2G088GG02 , 2G088JJ12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

X線コリメータ及びX線放射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-334975 Applicant：トヨタ自動車株式会社
特開昭61-088200
特開昭61-002100

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Cited by examiner (6)

X線コリメータ及びX線放射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-334975 Applicant：トヨタ自動車株式会社
特開昭61-088200
特開昭61-002100

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