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J-GLOBAL ID：200903081528467496

原子間力顕微鏡およびカンチレバーのクリーニング方法

Inventor： 太田 文人 ,  広瀬 幸範 ,  本田 和仁
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995307684
Publication number (International publication number)：1997145726
Application date： Nov. 27, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 カンチレバーを取り外さずに、汚染されたプローブをクリーニングしてカンチレバーの寿命を長く保つとともに、カンチレバーの着脱に伴う測定効率の低下および、カンチレバーの破損を防止して装置のランニングコストを低減した原子間力顕微鏡を提供することを目的とする。また、カンチレバーを取り外してクリーニングするカンチレバーのクリーニング方法を提供することを目的とする。【解決手段】 サンプル台7は水平、垂直方向(X、Y、Z方向)に可動する可動ステージ12上に配置されている。また、可動ステージ12上においては超音波洗浄装置4がサンプル台7に併設されている。超音波洗浄装置4は、洗浄槽中に浸した洗浄物に超音波(20000Hz以上)を照射して洗浄する装置であり、超音波発振器(図示せず)を内部に有し、超音波洗浄槽5内には洗浄液が満たされている。

Claim (excerpt)：

測定試料を載置し三次元的に移動可能な試料台と、前記測定試料に対面するその下側主面上に探針が配置されたカンチレバーとを備え、前記探針と前記測定試料とを所定の間隔に接近させた際に両者の間に生じる力を測定して、前記測定試料の表面形状を映像化する原子間力顕微鏡において、前記カンチレバーの前記探針に付着した異物を除去する異物除去手段と、前記試料台および異物除去手段を載置し三次元的に移動可能な可動ステージとをさらに備える原子間力顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (4)：

G01N 37/00 F ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z