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J-GLOBAL ID：200903081552221856

超音波発生装置およびその製法

Inventor： 松崎 伸樹 ,  沢野 達郎
Applicant, Patent owner： 株式会社芝浦製作所
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997073694
Publication number (International publication number)：1998270406
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 この発明は振動子で発生する超音波振動を効率よく液体に伝播することができる超音波発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 液体に超音波振動を与えるための超音波発生装置において、 圧電素子からなる振動子11と、この振動子の表面に形成された電極12、13と、 上記振動子の表面に金属を堆積させることで形成された振動膜14と を具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

液体に超音波振動を与えるための超音波発生装置において、圧電素子からなる振動子と、この振動子の表面に形成された電極と、上記振動子の表面に金属を堆積させることで形成された振動膜とを具備したことを特徴とする超音波発生装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 ,  B06B 1/06 ,  B08B 3/12

FI (3)：

H01L 21/304 341 N ,  B06B 1/06 Z ,  B08B 3/12 B