Pat
J-GLOBAL ID：200903081574934678
曲面を有する透明物体の微小欠点検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
原田 信市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993091876
Publication number (International publication number)：1994281588
Application date： Mar. 29, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：
【要約】【目的】 光学ガラスレンズのような曲面を有する透明物体の微小欠点を、簡単な手法で精度良く的確にしかも効率良く自動検査できるようにする。【構成】 透明物体3の被検査面である曲面3a の近傍に、その曲率に対応した焦点補正レンズ6を設置し、その反対側から拡散光を照射してこれら透明物体3及び焦点補正レンズ6を透過してくる光を拡大光学系8で拡大して固体撮像素子カメラ7で受光し、その画素出力をデジタル処理して暗部を検出することにより微小欠点の有無を検査する。画素出力の2値化に当たっては、その閾値を曲面の曲率に応じて画素ごとに変えてシェーディング補正する。
Claim (excerpt)：
透明物体の被検査面である曲面の近傍に、その曲率に対応した焦点補正レンズを設置し、これら透明物体及び焦点補正レンズを透過してくる光を拡大光学系で拡大して光電変換手段で受光し、その出力から暗部を検出することにより微小欠点の有無を検査することを特徴とする、曲面を有する透明物体の微小欠点検査方法。
IPC (2)：
G01N 21/88
, G06F 15/68 320
