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J-GLOBAL ID：200903081593314745

黒鉛中の不純物分析方法

Inventor： 浅子 喜一郎 ,  丸山 裕之 ,  清水 敬也 ,  岩崎 淳 ,  木暮 克之
Applicant, Patent owner： 信越半導体株式会社
Agent (1)： 石原 詔二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991337575
Publication number (International publication number)：1993149847
Application date： Nov. 27, 1991
Publication date： Jun. 15, 1993
Summary：

【要約】【目的】 黒鉛中の不純物を分析するに際し、工程の簡略化を図り、200°C程度の低温分析ができ、かつ正確な分析を可能とする。【構成】 微粉状の黒鉛試料に、硫酸と硝酸及び/又は過酸化水素からなる混酸を加え、マイクロウェーブを照射して該黒鉛試料を分解し、分析に供する。

Claim (excerpt)：

微粒状の黒鉛試料に、硫酸と硝酸及び/又は過酸化水素からなる混酸を加え、マイクロウェーブを照射して該黒鉛試料を分解し、分析に供することを特徴とする黒鉛中の不純物分析方法。

IPC (2)：

G01N 1/28 ,  G01N 31/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭57-014736