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J-GLOBAL ID：200903081595291807
角速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992143148
Publication number (International publication number)：1993312576
Application date： May. 08, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 振動体に加わる気体の粘性抵抗力を低減して検出感度を向上する。【構成】 下側基板11A上に空間11Dを介して設けられたシリコン材料からなる上側基板11Cに、第1の支持梁13によってX軸方向に振動可能に支持された第1の振動体12と、第1の振動体12に第2の支持梁15によりY軸方向に振動可能に支持された第2の振動体14と、各導電部17,18間に生じる静電力によって第1の振動体12をX軸方向に振動させる振動発生部16と、拡散抵抗により第2の支持梁15の応力変化を検出する変位量検出部21とを、一体形成する構成とした。これにより、Z軸を回転軸とする回転力Tが加わると、第2の振動体14はコリオリの力によってY軸方向に変位し、各変位量検出部21はこのY軸方向の変位を第2の支持梁15の応力変化として検出し、これを回転力Tの角速度として出力する。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板に第1の支持梁を介して支持され、該基板と平行方向に振動可能に設けられた第1の振動体と、該第1の振動体に第2の支持梁を介して平行に支持され、該第1の振動体の振動方向に対して直交方向に振動可能に設けられた第2の振動体と、前記第1の振動体を前記基板に対して平行方向に振動させる振動発生手段と、前記第2の振動体の変位量を検出する変位量検出手段とから構成してなる角速度センサ。
IPC (2)：
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