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J-GLOBAL ID:200903081618665254

熱型赤外線センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 五十嵐 清
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991343964
Publication number (International publication number):1993157622
Application date: Dec. 02, 1991
Publication date: Jun. 25, 1993
Summary:
【要約】【目的】 装置の大型化を避け、小型、軽量で製造の容易な熱型赤外線センサを提供する。【構成】 基板1と熱型赤外線素子を配設した基板5とを接合する。この2枚の基板1,5の内部接合領域に真空空間部2を形成し、この真空空間部2内に熱型赤外線素子を収容して真空封止する。
Claim (excerpt):
2枚の基板を接合してなるその内部接合領域に真空空間部が形成され、この真空空間部に赤外線を検出する熱型赤外線素子を配設した熱型赤外線センサ。
IPC (3):
G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/12

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