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J-GLOBAL ID：200903081644137665
シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大家 邦久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993283983
Publication number (International publication number)：1994239632
Application date： Oct. 18, 1993
Publication date： Aug. 30, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法の提供【構成】 (1) カーボンルツボに内装され、シリコン単結晶の引上げに使用される石英ルツボ10であって、側壁上部に吊上用の係合手段を有し、該係合手段として貫通孔12、凹部または突起が、カーボンルツボへの着脱を妨げない位置に形成されている石英ルツボ、および(2) 回転モールド内周面に堆積した石英粉体層に成形治具を挿入した状態で該石英粉体層を加熱溶融してルツボを成形し、その後、成形治具を引き抜くことにより、石英ルツボの側壁上部に係合手段の孔ないし凹部を形成する上記石英ルツボの製造方法。【効果】 係合手段を有するので石英ルツボを機械的手段によって安全、確実に搬送でき、また単結晶引上装置への着脱も容易である。また人手による作業の省力化および石英ルツボの汚染を防止できる。
Claim (excerpt)：
カーボンルツボに内装され、シリコン単結晶の引上げに使用される石英ルツボであって、側壁上部に吊上用の係合手段が形成されていることを特徴とする石英ルツボ。
IPC (3)：
C03B 20/00
, C30B 15/10
, C30B 29/06 502
