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J-GLOBAL ID：200903081646996967

導電性シート

Inventor： 清水 紳司 ,  大賀 隆史 ,  丸山 覚史 ,  奥村 廣行 ,  中島 佐知子
Applicant, Patent owner： 東洋ゴム工業株式会社
Agent (1)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009007873
Publication number (International publication number)：2009194378
Application date： Jan. 16, 2009
Publication date： Aug. 27, 2009
Summary：

【課題】 平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい導電性シートを提供することを目的とする。【解決手段】 凹部構造面を有する樹脂層の該面側に、錫シートが該凹部構造に沿って積層されている積層シートを少なくとも含み、前記積層シートは、錫シート表面に溝を有しており、かつ錫シート及び樹脂層を貫く貫通孔を有する導電性シート。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

凹部構造面を有する樹脂層の該面側に、錫シートが該凹部構造に沿って積層されている積層シートを少なくとも含み、前記積層シートは、錫シート表面に溝を有しており、かつ錫シート及び樹脂層を貫く貫通孔を有する導電性シート。

IPC (5)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B32B 15/095 ,  B32B 3/30 ,  B32B 5/18

FI (6)：

H01L21/304 622F ,  B24B37/00 N ,  B24B37/00 W ,  B32B15/08 T ,  B32B3/30 ,  B32B5/18

F-Term (14)：

3C058AA09 ,  3C058CA05 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA13 ,  3C058DA17 ,  4F100AB21B ,  4F100AK01A ,  4F100AK51A ,  4F100BA02 ,  4F100DD01A ,  4F100DD05B ,  4F100DJ01A ,  4F100GB43