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J-GLOBAL ID：200903081657145497

液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： 阿須間 宏明 ,  小野 記久雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993055360
Publication number (International publication number)：1994268222
Application date： Mar. 16, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】液晶表示装置の信号配線の断線を防止し、製造歩留まりを向上させること。【構成】逆スタガー構造TFT-LCDにおいて、絶縁層,半導体層を堆積後、続いて配線層の導電材料を堆積,パターニング後、配線パターンをマスクとして半導体層,絶縁層をエッチングする。さらに配線層上にホトエッチング工程を繰り返して多数の配線層を形成する。【効果】ゴミ等の異物の付着,ホトレジストの欠落によって発生する信号配線の断線を、多層配線の各層が修復し合い、配線全体の断線を救済する。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に、複数本の走査配線及び信号配線を配し、前記走査配線及び信号配線の交点近傍にスイッチング素子となる薄膜トランジスタ並びに表示画素電極を備えた液晶表示装置の構造において、前記信号配線及びドレイン電極、並びに前記薄膜トランジスタから前記表示画素電極へ信号データを供給するソース電極を、互いにエッチング方法の選択比が高い複数の導電材料で3層以上の積層構造としたことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

H01L 29/784 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/40