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J-GLOBAL ID：200903081662037929

共焦点光スキャナ

Inventor： 田名網 健雄 ,  御厨 健太
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995145833
Publication number (International publication number)：1996338948
Application date： Jun. 13, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】ニポウディスクそのものを動かす構造とし、アクチュエータを1つに減らし、従来のような同期や振幅調整を必要としない共焦点光スキャナを実現する。【構成】試料を照射する光源と、この光源と前記試料の間に配置され複数の微小開口部を持つニポウディスクと、このニポウディスクを回転させる回転手段と、前記ニポウディスクと試料の間に配置され光ビームを絞るための対物レンズを備え、前記ニポウディスクを回転して光走査を行いニポウディスク上に試料の像が生成されるように構成した共焦点光スキャナにおいて、前記対物レンズとニポウディスクの間の光学距離が変化するようにニポウディスクを光軸に沿って動かす手段と、前記ニポウディスク上に生成された試料の像を少なくとも2つの方向から観察できるリレー光学系を備える。

Claim (excerpt)：

試料を照射する光源と、この光源と前記試料の間に配置され複数の微小開口部を持つニポウディスクと、このニポウディスクを回転させる回転手段と、前記ニポウディスクと試料の間に配置され光ビームを絞るための対物レンズを備え、前記ニポウディスクを回転して光走査を行いニポウディスク上に試料の像が生成されるように構成した共焦点光スキャナにおいて、前記対物レンズとニポウディスクの間の光学距離が変化するようにニポウディスクを光軸に沿って動かす手段と、前記ニポウディスク上に生成された試料の像を少なくとも2つの方向から観察できるリレー光学系を具備したことを特徴とする共焦点光スキャナ。