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J-GLOBAL ID：200903081675555880
洗浄乾燥方法およびその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田中 浩 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995350247
Publication number (International publication number)：1997174000
Application date： Dec. 21, 1995
Publication date： Jul. 08, 1997
Summary：
【要約】【課題】 洗浄と乾燥を同一の槽を用い、機械部品や電子部品などの小物部品の傷や破損の生じない洗浄、乾燥を行う。【解決手段】 被洗浄部品1を収容したバスケット2を洗浄槽3内に支承し、この洗浄槽と配管されている液受け槽4内の加温された洗浄液5を上記洗浄槽3内の空気を排除しつつ徐々に送入して上記洗浄槽3を満液としてから、上記洗浄液5を上記洗浄槽3と液受け槽4との間で高速度で循環させて被洗浄部品1を洗浄し、次いで上記洗浄槽の洗浄液5を上記液受け槽4に戻し、さらに残存液、泡を送風にて除去した後、上記洗浄槽3内に大量の送風を行って上記洗浄した部品1を乾燥させる。
Claim (excerpt)：
被洗浄部品を収容したバスケットを支承した洗浄槽内に、この洗浄槽と配管されている液受け槽内の加温された洗浄液を上記洗浄槽内の空気を排除しつつ徐々に送入して満液としたのち、上記洗浄液を上記洗浄槽と液受け槽との間で高速度で循環させて上記洗浄槽内の被洗浄部品を所定時間洗浄し、次いで上記洗浄槽内の洗浄液を上記液受け槽に戻し、さらに残存液、泡を送風にて除去した後、上記洗浄槽内に所定時間大量の送風を行って被洗浄部品を乾燥させることを特徴とする洗浄乾燥方法。
IPC (3)：
B08B 3/10
, H01L 21/304 351
, H01L 21/304 361
B08B 3/10 Z
, H01L 21/304 351 Z
, H01L 21/304 361 H
