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J-GLOBAL ID：200903081688301268

軟磁性多層膜およびこれを用いた磁気ヘッド

Inventor： 大路 浩
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993105520
Publication number (International publication number)：1994318516
Application date： May. 06, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 成膜直後から優れた軟磁気特性を有し、かつ、高温熱処理を施した後でも高い初透磁率を維持することができる軟磁性多層膜をうる。【構成】 Ni-Fe合金またはNi-Fe合金を主成分とする合金からなる下地膜とFeまたはFeを主成分とする合金からなる主磁性膜とが基板上に交互に積層された繰り返しによる周期構造を有する軟磁性多層膜であって、主磁性膜の1層当たりの膜厚が500nm以下であり、下地膜の1層当たりの膜厚が20nm以下であり、下地膜の1層当たりの膜厚に対する主磁性膜の1層当たりの膜厚の比が1以上であることを特徴とする軟磁性多層膜。

Claim (excerpt)：

Ni-Fe合金またはNi-Fe合金を主成分とする合金からなる下地膜とFeまたはFeを主成分とする合金からなる主磁性膜とが基板上に交互に積層された繰り返しによる周期構造を有する軟磁性多層膜であって、主磁性膜の1層当たりの膜厚が500nm以下であり、下地膜の1層当たりの膜厚が20nm以下であり、下地膜の1層当たりの膜厚に対する主磁性膜の1層当たりの膜厚の比が1以上であることを特徴とする軟磁性多層膜。

IPC (6)：

H01F 10/14 ,  G11B 5/147 ,  G11B 5/23 ,  H01F 10/30 ,  H01F 41/20 ,  H01F 41/22