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J-GLOBAL ID：200903081737517379
イオン源
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997188382
Publication number (International publication number)：1998241590
Application date： Jul. 14, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】 効果的に軽イオンを除去できるイオン源を提供する。【解決手段】 水素を含む混合ガスを作動ガスとしてプラズマを発生させるプラズマ室に引出し電極を設けると共にこの引出し電極に向かうイオンのうち重イオンを通過させ軽イオンを捕捉する磁気フィルタ9を設けたイオン源において、上記磁気フィルタ9を電磁コイル11で構成したことにより、イオン分離能力が空間的に均一になり、軽イオン除去率の調整が可能になり、堆積物が低減される。
Claim (excerpt)：
水素を含む混合ガスを作動ガスとしてプラズマを発生させるプラズマ室に引出し電極を設けると共にこの引出し電極に向かうイオンのうち重イオンを通過させ軽イオンを捕捉する磁気フィルタを設けたイオン源において、上記磁気フィルタを電磁コイルで構成したことを特徴とするイオン源。
IPC (3)：
H01J 27/02
, H01J 37/08
, H01J 37/317
H01J 27/02
, H01J 37/08
, H01J 37/317 Z
