Pat

J-GLOBAL ID：200903081753072700

延伸チャンバ装置

Inventor： フェリックス グラフ ,  ギュンター ラウヘガー
Applicant, Patent owner： マシーネンファブリク リーター アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 青木 朗 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992247510
Publication number (International publication number)：1993195312
Application date： Sep. 17, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、チャンバ液体をオンライン制御することによってチャンバ液体の拘束効果の変動によって惹起される糸質の変動や誤作動を防止することを目的とする。【構成】 延伸チャンバ装置は監視手段を具備し、この監視手段によってチャンバ内の液体レベル及びその特性、特に、組成が制御される。この目的のためチャンバ液体の電気抵抗を計測するための計測エレメント6がチャンバのオーバフロー部にその電極がオーバフロー部の液面レベルNを越えて延びるように配置され、その計測信号は液体のレベルに依存して変化するようにされる。更に、チャンバ液体のタンク4は液面の下方に位置する計測エレメント7を具備し、電気抵抗を計測することができる。二つの計測エレメント6,7の計測信号は公差帯と比較され、、計測値が所定の公差帯内に存在しない場合は警報信号若しくは制御ユニットへの信号が発生される。

Claim (excerpt)：

オーバフロー部(1.1)を有した延伸チャンバ(1)と、チャンバ循環系とを具備し、チャンバ循環系はチャンバに至る供給導管(2)と、チャンバからの戻り配管(3)と、タンク(4)と、ポンプ手段(5)とより成る延伸チャンバ装置において、チャンバのオーバフロー領域においてチャンバ液体の電気抵抗を計測するための計測エレメント(6)が設けられ、計測エレメントはその少なくとも一つの計測電極が液面レベルによって湿潤部と、非湿潤部とに分割され、計測信号は液面レベルに依存することを特徴とする延伸チャンバ装置。