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J-GLOBAL ID：200903081753719976

プロセス制御装置

Inventor： 上村 隆 ,  本郷 幹雄 ,  水越 克郎 ,  佐野 秀造 ,  高橋 貴彦 ,  岡本 恵美子 ,  田辺 義和
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991321695
Publication number (International publication number)：1993158510
Application date： Dec. 05, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】シーケンス手順をコマンドで記述したプログラムを作成し、これを実行して一連のシーケンスを実行する途中で、一時停止状態を作り、別処理を行って一連のシーケンスを続行もしくは中断することにより、プロセスの多様化に対するシーケンスの変更を容易にすること。【構成】コンピュータ1上に一連のシーケンスをステップに分割し、シーケンスの一時停止,続行中断を含めその基本動作をコマンドとして登録しておく。一時停止についてはスイッチ6aによって、また、異常信号7についても入出力制御部4を介してコンピュータ1上に割込が入り、プログラムが一時停止するようにしておく。コンピュータ1上にシーケンスで順をコマンドで記述したプログラムをキーボード2で編集し、登録する。プログラム実行時、一時停止状態で、前記登録コマンドを受け付け実行する。

Claim (excerpt)：

一連のシーケンスをステップに分割し、その基本動作をコマンドとして登録するとともに、シーケンスの一時停止,続行,中断についてもコマンドとして登録しておき、シーケンス手順を前記コマンドで記述したプログラムで構成し、前記プログラムを走らせることによって所望のシーケンスを実行し、一時停止状態にあるとき、前記登録コマンドの入力を受け付け、当初のシーケンス以外の動作を実行可能であることを特徴とするプロセス制御装置。

IPC (2)：

G05B 19/05 ,  H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭61-033509
  
• 特開昭63-010204
  
• 特開昭64-072203
  
• 特開昭64-041004