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J-GLOBAL ID：200903081766950758

SPM用探針及びその製造方法

Inventor： 小木曽 祥明 ,  梅原 康敏
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992268757
Publication number (International publication number)：1994117849
Application date： Oct. 07, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 先端曲率半径が50Å以下のものを得る。【構成】 市販のAFM用カンチレバーの探針の先端にその軸心方向からイオンビーム24を照射すると共に、ガス銃23からW(CO)6 などの有機金属ガスを放射して、その分解した金属を線状に堆積する(B)。その堆積体25の端面を径が0.5μm以下のイオンビームで、径が1μmの円形走査を行うことにより削って細くし(C)、イオンビームの走査径を0.5μmとして削ることにより更に尖鋭化して針状部26とする(D)。

Claim (excerpt)：

一端が尖った探針基部と、その尖った一端よりその突出方向に延長した金属材よりなる大径部と、その大径部の端面よりその軸心上に延長し、径が上記端面より小さい同一金属材よりなる針状部と、よりなるSPM用探針。

IPC (5)：

G01B 21/30 ,  B21G 1/00 ,  G01B 7/34 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28