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J-GLOBAL ID：200903081829076263

非接触表面粗さ測定方法およびその測定装置

Inventor： 渡部 一博 ,  高橋 昌 ,  平山 和弘
Applicant, Patent owner： 福島県
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996359429
Publication number (International publication number)：1998170247
Application date： Dec. 11, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 2次元光電変換素子列を用いた簡易な装置で、散乱光分布解析法による非接触の状態で、被検査物の微少な変位に影響されず、自由曲面でも短時間で信頼性の高い2次元平均粗さを測定することができる。【解決手段】 被検査面5に対して法線方向から平行光束2を照射し、被検査面5からの散乱光分布を2次元光電変換素子列7で受光して、この素子列7の検知出力から画像データを構成し、散乱光分布の広がり具合パラメータとしてディスプレイ11の画面に表示した画像上で散乱光6の強度分布を3次元的な立体として考えたときの立体の重心を、強度分布の重心とし、この重心の平面的な位置を中心とする異なる面積の2つの領域内部における散乱光6の総合強度の比を計算し、この計算された比と、予め測定した総合強度の比と平均粗さを関連づけた評価データ16とを対比して被検査面5の粗さを評価する非接触表面粗さ測定方法。

Claim (excerpt)：

被検査面に対してほぼ法線方向から平行光束を照射し、被検査面からの散乱光分布を2次元光電変換素子列で受光して、この素子列の検知出力から画像データを構成し、散乱光分布の広がり具合パラメータとしてディスプレイ画面に表示した画像上、またはメモリに記憶された画像上で散乱光の強度分布を3次元的な立体として考えたときの立体の重心を、強度分布の重心とし、この重心の平面的な位置を中心とする異なる面積の2つの領域内部における散乱光の総合強度の比を計算し、この計算された比と、予め測定した総合強度の比と総合粗さを関連づけたデータとを対比して被検査面の2次元的平均粗さを評価する非接触表面粗さ測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/30 102 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60

FI (3)：

G01B 11/30 102 Z ,  G06F 15/62 415 ,  G06F 15/70 360