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J-GLOBAL ID：200903081848231989

圧電素子とその製造方法

Inventor： 三島 彰生
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 松村 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999340834
Publication number (International publication number)：2001156584
Application date： Nov. 30, 1999
Publication date： Jun. 08, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】圧電素子片62の側端面に上下面の電極73、74と連続する電極を形成するためのレジストマスク93を形成する際に、露光不良によってレジストマスクが正確に形成されず、側端面における電極の形状不良によるショートや断線の発生を防止するようにした圧電素子を提供する。【解決手段】水晶ウエハーをエッチングして圧電素子片62を形成する際に、パウダービームエッチングを行なうようにし、これによって圧電素子片62の側端面をその全周に亘って厚さ方向の中央部が外方に突出するような傾斜面から構成するようにしたものである。

Claim (excerpt)：

圧電素子片の上下面にそれぞれ所定のギャップを隔てて2つの電極膜が分割形成されるとともに、側端面はその全周に亘って外方に突出する1つないし複数の傾斜面から構成されることを特徴とする圧電素子。

IPC (2)：

H03H 9/215 ,  H03H 3/02

FI (2)：

H03H 9/215 ,  H03H 3/02 D

F-Term (12)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108EE02 ,  5J108EE07 ,  5J108EE11 ,  5J108FF03 ,  5J108GG06 ,  5J108HH04 ,  5J108HH06 ,  5J108MM08 ,  5J108MM14