Pat

J-GLOBAL ID：200903081850754000

走査型荷電粒子線顕微鏡

Inventor： 中筋 護 ,  清水 弘泰 ,  鈴木 正平
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991178735
Publication number (International publication number)：1993003014
Application date： Jun. 24, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構造で試料に設けられた高アスペクト比の穴または溝の内部をも適確に観察できるようにする。【構成】 粒子線源からの荷電粒子線を対物レンズの磁場の中に配置された試料に照射して走査し、前記試料から2次荷電粒子線を検出することにより試料の観察を行なう走査型荷電粒子線顕微鏡であって、前記試料面に高電界を印加する手段を設け、前記試料に形成された高アスペクト比の穴または溝の内部に下に凸型に歪んだ電界を生じさせ、これにより前記穴または溝の内部観察をも可能とする。

Claim (excerpt)：

粒子線源からの荷電粒子線を対物レンズの磁場の中に配置された試料に照射して走査し、前記試料からの2次荷電粒子線を検出することにより試料の観察を行なう走査型荷電粒子線顕微鏡であって、前記試料表面に高電界を印加する手段を備えたことを特徴とする走査型荷電粒子線顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/66