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J-GLOBAL ID:200903081883689629

電気機械変換素子及びその製造方法並びにインクジェットヘッド

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 稲元 富保
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996243457
Publication number (International publication number):1998093153
Application date: Sep. 13, 1996
Publication date: Apr. 10, 1998
Summary:
【要約】【課題】 コストが高くなる。【解決手段】 電気機械変換素子1は、予め所定の粒径に成長させた強誘電体材料の微粒子単結晶体2に金属酸化物3を添加し、これを所定形状に成形して焼成した。
Claim (excerpt):
電気信号を機械的変位に変換し、或いは機械的変位を電気信号に変換する電気機械変換素子において、この電気機械変換素子は予め所定の粒径に成長させた強誘電体材料の微粒子単結晶体に金属酸化物を添加し焼成してなることを特徴とする電気機械変換素子。
IPC (5):
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24
FI (4):
H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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