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J-GLOBAL ID：200903081911279407

複屈折板およびこれを用いた光学系

Inventor： 川村 宜司
Applicant, Patent owner： 佐野富士光機株式会社
Agent (1)： 川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995347668
Publication number (International publication number)：1997166710
Application date： Dec. 15, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【目的】 互いに異なる所定の複数の誘電体材料からなる斜め蒸着単層膜を交互に積層してなる斜め蒸着膜により複屈折性を持たせ、各種光学要素として用いる場合にその光学設計の自由度を高める。【構成】 この複屈折板1は、透明ガラス基板2上にTiO2(二酸化チタン)の単層膜3,5とSiO2(酸化ケイ素)の単層膜4,6を交互に斜め蒸着により形成してなる。図1には、省略して描かれているが、実際には22層の単層膜が積層されている。また、各単層膜3、4、5、6の膜厚は略λ/4(λ=650nm)に設定されている。

Claim (excerpt)：

被蒸着基板の表面上に斜め方向から誘電体材料を蒸着せしめて斜め蒸着膜を形成してなる複屈折板において、該斜め蒸着膜は、互いに異なる誘電体材料からなる斜め蒸着単層膜を交互に積層してなることを特徴とする複屈折板。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-132203
  
• 特開昭63-301905