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J-GLOBAL ID:200903081962611333
非晶質透明導電膜
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
泉名 謙治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993095568
Publication number (International publication number):1994290641
Application date: Mar. 30, 1993
Publication date: Oct. 18, 1994
Summary:
【要約】【構成】AB<SB>2-x</SB> O<SB>4-y</SB> [A:Mg、Cd、Zn、Ca、Co、Sr、Baから選ばれる少なくとも一種。B:Al、In、Ga、Rh、Cr、V、Fe、Mnから選ばれる少なくとも一種。-0.5<x<0.5。-1<y<1.5。]で示される非晶質構造の透明導電膜。【効果】優れた透明性、導電性、パタニング性を有し、かつ、結晶質の膜と比べて耐摩耗、耐擦傷性に優れる。
Claim (excerpt):
AB<SB>2-x</SB> O<SB>4-y</SB> で示される金属酸化物からなる非晶質構造の透明導電膜において、該AB<SB>2-x</SB> O<SB>4-y</SB> のAが、Mg、Cd、Zn、Ca、Co、Sr、およびBaからなる群から選ばれる少なくとも一種であり、Bが、Al、In、Ga、Rh、Cr、V、Fe、およびMnからなる群から選ばれる少なくとも一種であり、かつ、-0.5<x<0.5、-1<y<1.5の組成比であることを特徴とする非晶質構造の透明導電膜。
IPC (10):
H01B 5/14
, C01G 15/00
, C01G 19/00
, C01G 23/00
, C01G 37/00
, C01G 45/00
, C01G 49/00
, C01G 51/00
, C01G 55/00
, C23C 14/08
Patent cited by the Patent:
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