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J-GLOBAL ID：200903081989316643
共焦点光学系
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992205382
Publication number (International publication number)：1994051206
Application date： Jul. 31, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】ピンホール等の開口の位置調整、及び、共焦点効果の調整が容易でかつ小形な共焦点光学系を提供することにある。【構成】光源12からの光を試料面22に集束させる対物レンズ20と、対物レンズ20の光の集束点を試料に対して相対的に移動させる移動手段と、試料からの光を集束させる結像レンズと、この集束光を選択的に通過させる光彩絞り51と、この光彩絞り51を通過した光を受光する光電検出器34とを備えた共焦点光学系において、試料側に配置された凸レンズ26と光電検出器側に配置された凹レンズ28からなる結像レンズ27と、試料側に配置された凸レンズ49と光電検出器側に配置された凹レンズ52からなる結像レンズ50とを配置したもの。
Claim (excerpt)：
光源と、この光源からの光を試料に集束させる対物レンズと、この対物レンズの光の集束点を試料に対して相対的に移動させる移動手段と、前記試料からの光を集束させる結像光学素子と、この集束光を選択的に通過させる開口と、この開口を通過した光を受光する光電検出器とを備えた共焦点光学系において、前記結像光学素子として、前記試料側に配置された凸レンズと前記光電検出器側に配置された凹レンズからなるものを1組の光学素子群としたとき、この光学素子群を少なくとも2組配置したことを特徴とする共焦点光学系。
IPC (2)：
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