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J-GLOBAL ID：200903082036705738

イオンビームからイオンを分離するための方法及び装置

Inventor： ダル バハット ,  ディヴィッド ジー ウェルキー
Applicant, Patent owner： ザ パーキン-エルマー コーポレイション
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998238790
Publication number (International publication number)：2000067807
Application date： Aug. 25, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 空間電荷効果を阻止し検出器飽和という問題点を最小に抑えるため、イオン源のできるかぎりすぐ後方でキャリアガスイオンをビームから取り除くように構成することにある。【解決手段】 第1の場をイオンビーム対して角度をつけて加え、イオンをこれらの質量対電荷比に従って分散させる。そして特定の範囲の質量対電荷比を有する分散されたイオンをブロックする。次に、イオンビームに第2の場を加え、第1の場のイオンビームに対する作用を逆転させる。さらに、イオンビームに第3の場を加え、イオンビームを方向づけしコリメートする。

Claim (excerpt)：

イオンビームからイオンを分離するための方法において、第1の場を前記イオンビーム対して角度をつけて加え、前記イオンをこれらの質量対電荷比に従って分散させ、特定の範囲の質量対電荷比を有する分散されたイオンをブロックし、前記イオンビームに第2の場を加え、前記第1の場の前記イオンビームに対する作用を逆転させ、さらに、前記イオンビームに第3の場を加え、前記イオンビームを方向づけしコリメートすることを特徴とする、イオンビームからイオンを分離するための方法。

IPC (3)：

H01J 49/06 ,  G01N 30/72 ,  G01N 27/62

FI (3)：

H01J 49/06 ,  G01N 30/72 A ,  G01N 27/62 C

F-Term (4)：

5C038FF01 ,  5C038FF10 ,  5C038FF11 ,  5C038HH11