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J-GLOBAL ID：200903082052975052

ポリイミド樹脂のエツチング溶液

Inventor： 青木 正文
Applicant, Patent owner： 日産化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991172719
Publication number (International publication number)：1993017604
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】硬化したポリイミド樹脂被膜のエッチング溶液に関するものである。その構成成分は水、及び水と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒(N-メチルピロリドン、1,4-ジオキサン等)、及び水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒(メタノール、エタノール、等)、更に塩基性化合物(水酸化カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等)を必須成分として含むものである。【効果】本発明のエッチング溶液は、安全で取扱いが容易であり、従来のものに比べて極めて速い速度で、完全に硬化したポリイミド樹脂をエッチングできる。

Claim (excerpt)：

水、及び水と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒、及び水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒、更に塩基性化合物から成る4成分を必須成分として含有することを特徴とするポリイミド樹脂のエッチング溶液。

IPC (4)：

C08J 7/02 CFG ,  C09K 13/06 ,  H01L 21/308 ,  C08L 79:08