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J-GLOBAL ID：200903082054126443
プラズマを用いるダイヤモンドの合成法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991212776
Publication number (International publication number)：1993032489
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 大面積に均一に、しかも比較的速い成長速度でダイヤモンド合成ができる方法を提供する。【構成】 プラズマを用いるプラズマCVD法によりダイヤモンドを合成するに際し、超短波域(30〜300MHz)の電力を用いることを特徴としている。電極は平行平板型電極2、3を用い、基板4上にダイヤモンド膜が得られる。
Claim (excerpt)：
プラズマを用いるプラズマCVD法によりダイヤモンドを合成するに際し、超短波域(30〜300MHz)の電力を用いることを特徴とするダイヤモンド合成法。
IPC (3)：
C30B 29/04
, C01B 31/06
, C23C 16/26
